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      上海鉅晶精密儀器制造有限公司

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      產品詳細
      提拉法晶體生長爐 晶體提拉法/下降法裝備 碳化硅生長、硒化鋅晶體氣相生長

      提拉法晶體生長爐 晶體提拉法/下降法裝備 碳化硅生長、硒化鋅晶體氣相生長

      產品型號:SML

      參考價格:-

      產地:上海

      發布時間:2025-7-25 1:46:19

      在線咨詢

      產品介紹:
      應用領域:
      1. 半導體行業
      - 單晶硅生長:用于制造集成電路、太陽能電池等所需的單晶硅棒,純度可達99.9999%以上。
      - 化合物半導體:如砷化鎵、磷化銦等,用于高頻通信器件和光電子元件。
      2. 光學材料
      - 藍寶石晶體(Al&#8322;O&#8323;):用于LED襯底、光學窗口、智能手機屏幕蓋板等。
      - 釔鋁石榴石(YAG):制造激光晶體、閃爍晶體(如醫療CT探測器)。
      3. 激光與非線性光學
      - 鈦寶石晶體(Ti:Sapphire):超快激光器的核心材料。
      - 鈮酸鋰(LiNbO&#8323;):用于光調制器、聲表面波器件。
      4. 科研與特種材料
      - 高溫超導材料:如釔鋇銅氧(YBCO)單晶。
      - 閃爍晶體:碘化銫(CsI)、鍺酸鉍(BGO)用于高能物理探測。

      技術特點:
      1. 核心生長工藝
      - 熔體控制:通過高純度坩堝(如石英、銥金)熔融原料,避免污染。
      - 籽晶引晶:使用定向籽晶誘導單晶生長,精準控制晶向(如硅的〈100〉或〈111〉方向)。
      - 提拉與旋轉:
      - 提拉速度:0.1~10 mm/h,影響晶體直徑和缺陷密度。
      - 旋轉速率:5~30 RPM,確保熔體均勻性和界面穩定性。
      2. 加熱與溫控系統
      - 加熱方式:
      - 電阻加熱:石墨或鉬發熱體,適用于硅、藍寶石等(溫度范圍1400~2200°C)。
      - 感應加熱:高頻線圈耦合金屬坩堝,適合高熔點材料(如鎢)。
      - 溫度精度:±0.5°C以內,通過多區熱場設計減少徑向溫度梯度。
      3. 環境控制
      - 氣氛選擇:
      - 惰性氣體(Ar、N&#8322;):防止材料氧化(如硅生長需高純氬氣)。
      - 真空環境:用于易揮發材料(如GaAs)以減少氣泡缺陷。
      - 壓力調節:動態控制爐內壓力,優化晶體生長界面形態。
      4. 自動化與監測
      - 直徑控制:激光/視覺傳感器實時監測晶體直徑,反饋調節提拉速度。
      - 智能工藝:預設多段生長曲線,自動調整溫度、轉速等參數。
      - 缺陷檢測:集成X射線衍射(XRD)或紅外成像,實時分析晶體質量。
      5. 設備結構設計
      - 熱場優化:多層隔熱屏(石墨、鉬)減少熱損失,提升能源效率。
      - 冷卻系統:水冷爐壁與氣體冷卻結合,快速降溫避免熱應力開裂。
      - 耐腐蝕材料:坩堝和爐膛采用銥、鎢等高抗腐蝕材料,延長使用壽命。

      鄭重聲明:以上信息由企業自行發布,該企業負責信息內容的完整性、真實性、準確性和合法性。本網站對此不承擔任何責任。

      • 主營行業: 燒結設備
      • 經營模式:生產型
      • 經營性質:私營企業
      • 地區:上海
      • 友情鏈接:粉末冶金

      電話:13818702256傳真:021-51696069轉8010(聯系請注明來自中國粉末冶金商務網)

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