NanoSurface GV250/NC-VDM
1.概要：
韓國NTS很榮幸的介紹半導(dǎo)體減薄機(jī)的新發(fā)展。新的NTS Nanosurface 250/NC-VDM是一種全自動的高效多功能減薄機(jī)，能夠減薄直徑從2英寸到300mm多種規(guī)格的晶片。他同之前認(rèn)證過的Nanosurface 減薄機(jī)有許多共同的設(shè)計理念和特點。
2.特點：
◆自動加工12張2英寸的藍(lán)寶石外延片
◆多種功能可達(dá)到自動減薄加工
-產(chǎn)品厚度自動測量
-砂輪盤偏移量補(bǔ)償
-砂輪盤自動修整
-加工數(shù)據(jù)自動存儲
加工后的產(chǎn)品厚度測量值
每張晶片的加工情況
-4 軸NC控制系統(tǒng)儲存
-增加靈活性和減小公差
-機(jī)械設(shè)計采用先進(jìn)的系統(tǒng)模塊
◆藍(lán)寶石外延片&砷化鎵2英寸
-*大自動加工12張片（加工厚度為≥110um）
◆硅晶片
-*大加工12張片
3.適用范圍：
2~4英寸的藍(lán)寶石外延片，硅晶片，砷化鎵,GaN晶片的背面減薄，陶瓷片、石英晶體、光電玻璃及其他硬脆材料。